電極可選W和SI、Si電極可以滿足半導體生產需求

離子平衡度≤±30V

氣嘴可選、大流量和省流量、更好的滿足實驗使用

離子平衡在長期使用中保持穩定

通過實現高頻實現穩定的性能

無擾動電壓、採用AC-CO技術降低高壓電路自身波動